概要

多種多様な製品の高さ・表面形状を高速/高精度に測定・検査する装置です。

特長

・高さ繰り返し精度（３σ）：１μm以下（※）
・多様なセンサシリーズを選択できるフレキシブル設計
・鳥瞰図・断面図を簡単表示
・ＫＮタイプ（Ｚ軸変位方式）では、高さレンジ５mmまで対応可能
※精度はメーカー標準サンプルでの計測値です。

主な仕様

その他

【応用例】
・各種平坦度計測（パターン、端子など）
・円柱部品表面粗さ計測
・凹凸部深さ、高さ計測
・部品（金属、樹脂、その他）表面形状計測
・透明物中間異物検査　など