半導体エージング装置
さまざまなな半導体デバイスのバーンイン、および信頼性評価試験を行う装置のご紹介です。
概要と特徴
概要
恒温環境は、対象となる半導体デバイスの温度環境により恒温槽、ヒートプレート、ペルチェ制御プレートなどを使用します。
量産レベルの1000ch/槽のものから、準量産、開発レベル(数100ch~数ch)まで、ご要望に合わせたラインナップを取り揃えております。
エージングの開始から終了まで試験は全て自動で行われ、この間に電流・電圧・光出力などが測定できます。
また試験環境設備は様々な温調方式でご提案できます。
1.恒温槽方式
恒温槽環境で間接的な温度制御をします。
自社開発恒温槽および治具のシステムにて多chを均一に試験することができます。
温度範囲:+20℃~+80℃
対象設備:DSLD-1000H-HV
DSLD-480-HV
DSLD-400H-HV
PDエージング装置
2.直接温調方式
様々な温調治具の組み合わせにて直接的な温度制御をします。
デバイス通電時に自己発熱の大きいデバイス、もしくは100℃以上での試験実施、小ch検査に適しています。
対象ch数:5ch~120ch
温度範囲:-20℃~+120℃
温調方式:水冷・ペルチェジャケット、ヒータなど
対象設備:FETエージング装置,UVエージング装置,ペルチェ式エージング
設備特徴
・試験中の素子の安全性を第1に考えられているシステム設計
・温度安定性に重点が置かれた恒温システム
・作業性がよく、また放熱が十分考慮されたカセット(半導体デバイスを装着する治具)
量産工程におけるエージング試験治具へのセット作業、リセット作業の自動化ハンドリング装置も取り揃えています。
対象設備:セットリセット機
製品ラインナップ
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恒温槽式エージング装置(2槽1室) DSLD-1000Hシリーズ
ダイトロン株式会社
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恒温槽式エージング装置(4槽4室) DSLD-480H-HV
ダイトロン株式会社
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恒温槽式エージング装置(2槽2室) DSLD-400H-HV
ダイトロン株式会社
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直接温調式エージング装置 DSLD-50HT
ダイトロン株式会社
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PDエージング装置(1槽1室) DSPDシリーズ
ダイトロン株式会社
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直接温調式FETエージング装置 DSFETシリーズ
ダイトロン株式会社
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直接温調式エージング装置(水冷タイプ)
ダイトロン株式会社
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直接温調式エージング装置(ペルチェタイプ) DSLD-96HT
ダイトロン株式会社
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エージング治具セットリセット機 DLSRシリーズ
ダイトロン株式会社