製品情報

ウェーハ移載装置2　

製品名 ウェーハ移載装置2

概要

カセット内にセットされたウェーハを、スタック状にウェーハ移載を行います。
また、スタック状にセットされたウェーハを、カセット内にウェーハ移載を行います。

特長

・ 移載モードが選択可能
 カセット to スタック
 スタック to カセット
 ＊スタック１００枚、カセット６０枚または１００枚選択可能
・ 高スループット
　（1）ライン稼働
　　-カセット to スタック：１．５秒／枚
　　-スタック to カセット：　 ５秒／枚
　（2）ライン稼働
　　-カセット to スタック：０．７５秒／枚
　　-スタック to カセット：　２．５秒／枚
・ 薄ウェーハ搬送に対応
　　ウェーハ吸着にベルヌイ方式を採用

主な仕様

・ウェーハサイズ　156mm□
・ウェーハ種類　　単結晶・多結晶
・装置寸法　　　　1100(W)×1200(D)×1800(H) mm