製品情報
ウェーハ自動梱包・開封装置
| 製品名 | ウェーハ自動梱包・開封装置 |
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概要
本装置は、8インチ及び12インチのウェーハを 輸送用ケースへ安全に収納／取り出しをおこなうための「ウェーハ自動梱包・開封装置」です。
特長
- キャリアカセット ⇔ 輸送ケース間の移し替え作業を自動化し、ウェーハの破損リスクを低減、安全性を向上
- 安定した処理速度で高い生産効率と品質の均一化を実現
- 省人化・作業負荷低減により、現場の効率化と安定稼働に貢献
主な仕様
基本仕様・オプション一覧
| 項目 | 内容 |
| カセットステージ | 1台（ロードポート） |
| プロトスステージ | 1台（昇降式） |
| シートストッカー | 1台（昇降式） |
| センタリングユニット | 簡易型（ノッチ合わせ無し） |
| 制御方式 | PLC制御 |
| ウェーハ搬送ハンド | 真空吸着式（8インチ／12インチ兼用） |
| スペーサー搬送ハンド | 真空吸着式（8インチ／12インチ兼用） |
| オプション対応 | フルオートアライナー（OF/ノッチ合わせ含む） |
| OCR対応 | |
| 極薄ウェーハ対応 | |
| 反り/歪み対応 | |
| その他カスタマイズ |