製品情報

ウェーハマーキング装置　

製品名	ウェーハマーキング装置

概要

本装置はデバイスへのダメージが少ないSHGレーザを搭載しております。ウェーハ照射面で、ほとんどレーザ光が吸収されることで、回路面へのダメージを大幅に低減します。
対応ウェーハは6、8、12インチ（150、200、300mm）のウェーハサイズに対応。ガルバノスキャナーはフルデジタル式を採用し、高精度のマーキングを実現します。
また、空冷タイプ（LD励起式）のレーザマーカを搭載し、メンテナンスが容易で、ランニングコストを低減します。ウェーハの反り対策として、ガラス吸着ステージやオートフォーカス機能オプションが御座います。
その他、レーザのパワーフィードバックやID読み取り等、豊富なオプションも取り揃えております。

特長

・完全空冷式LD励起ファイバカップリングSHGレーザマーカ
・6、8、12インチ（150、200、300mm）のウェーハサイズに対応
・高精度補正マーキング
・高品質なブラックマーキングとホワイトマーキング
・ウェーハの反り対策オプション完備（ガラス吸着ステージ、オートフォーカス機能）