製品情報
ウェーハＩＤリーダー・ソーター
| 製品名 | ウェーハＩＤリーダー・ソーター |
|---|---|
| メーカー | ダイトロン株式会社 |
| メーカーロゴ |  |
概要
150mm / 200mmｳｪｰﾊの枚葉移載とアライメントおよびＩＤ認識を行うシステムです。
特長
・シンプル＆コンパクト - １ローダーと１アンローダーを直線配置
・８”＆６”(５”)ウェーハサイズ兼用 -わずか５分でサイズ切替が可能
・ウェーハＩＤ専用リーダー搭載 -ＷｅｂＧＵＩ により、読取条件設定は驚くほど簡単
・確実なウェーハ搬送 -ウェーハのセンタリング機構とマッピング機構付き
主な仕様
（ウェーハIDリーダー仕様概要）
| 対応コード | 2DData Matrix,ECC200（SEMI T7） |
| 2Dマトリックス・コード | SEMI font （M12.M13.M1.15） |
| 英数字 | BC412 （SEMI T1.95.M1.15） |
| バーコード | IBM412 |
| Compressed Base 35 IBM412 | |
| 照明 | 明視野および暗視野モード |
| LED照明（波長626nm） | |
| ソフトウェアにより輝度、入射角度設定可能 | |
| 視野 | 25mm×19mm |
| 通信 | イーサネット（10/100 MBits/sec） 標準TCP/IP プロトコル |
| RS-232C シリアル通信 | |
| 寸法 | 奥行き 114.3mm （4.5in.） |
| 幅 69.8mm （2.75in.） | |
| 高さ 57.7mm （2.27in.） | |
| 読み取り設定変更 | ※イーサネットを搭載したパソコンが必要 |
（DWS-200仕様概要）
| ウェーハサイズ | 8" 6" 5"（オプション） |
| アライメント機構 | センタリング機構・OF/ノッチアライメント機構 |
| 搬送モード選択 | ウェーハID 読み取り on/off |
| 全数/指定段（ローダーキャリア側） | |
| 平行移載/詰め移載/スロットNo. 逆転移載 | |
| ウェーハID読み取り移載 | |
| 処理能力 | 15sec / Wf |
| ウェーハID位置 | OF/ノッチ基準で任意に設定可能 |
| モード登録 | 10種類（ウェーハサイズ、読み取り位置、キャリア種類、他） |
| ユーティリティ | 主電源：AC100V 単相 50Hz 5A |
| CDA:0.5Mpa〜0.7Mpa | |
| VAC:-65KPa〜100KPa |