製品情報

DRY洗浄装置　VUV-FⅠ

製品名 DRY洗浄装置
型式 VUV-FⅠ

概要

世界初！ 0.4mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功！！
吸着テーブル不要の両面同時クリーニングシステム

特長

・ 両面同時にクリーニングを可能
・ 後工程の装置汚染を防止
・ 10μｍのシリカビーズは100%除去（弊社クリーンルーム内テスト評価）
・ クリーナヘッドへの基板の吸い付きを防止するための吸着テーブルが不要
　⇒装置全体でのコストダウンを実現・搬送コンベアに取付可能
・ コンベアにてガラスをスルーさせるだけなので、クリーニング工程としての時間が必要なく、
　 大幅なタクトタイム向上が可能
・ ユーティリティは電力のみ
・ 省スペースで乾燥工程不要