製品情報

全自動ウェーハマウンター　

製品名	全自動ウェーハマウンター

概要

本装置は、ダイシング前工程として全自動でＤ／Ｃフレームへウェーハをマウントする装置です。

特長

・厚さ150μm、反り5mmまでのウェーハに対応
・薄厚反りウェーハ対応として、真空チャンバー内でウェーハの反りを矯正（吸着保持）
・各種テープに対応したテープテンションメモリー機能
・キャリアステーションメモリー機能
・IDリーダー、バーコードラベラー対応（オプション）
・TEAM−２００とのインラインドッキング可能

主な仕様

スループット：80枚/ｈ（ご使用条件により異なります）　
対応ウェーハサイズ：６インチ、８インチ
使用フレーム：2-6-1、2-8-1
使用テープ幅：6インチ・幅230mm　　8インチ・幅300mm
ユーティリティ　電源：AC200V　単相50/60Hz　3.0KVA
　　　　　　　　　空気源：圧力0.5Mpa　300NI
装置寸法：D1,200　×　W1,646　×　H1,800mm
重量：850kg