製品情報
ドライクリーナ（非接触） UVU-W
| 製品名 | ドライクリーナ（非接触） |
|---|---|
| 型式 | UVU-W |
概要
本装置は、非接触片面洗浄タイプのドライクリーナです。
プレッシャ部とバキューム部が一体構造となっており、プレッシャ部に超音波発生器を内蔵した、
従来の非接触ドライクリーナの限界を超えた高性能ドライクリーナです。ドライ洗浄方式のクリーナ
としては、世界最高の性能を誇っています。
特長
（1）DRYクリーナーで1.6μmの粉塵を100%除去可能（メーカークリーンルーム内テストによる）
（2）プレッシャ部の超音波性能として、波形ピークが多く、且つ出力132.8dBと高い為、どんな
形状の粉塵にも効果的
（3）超音波ｴｱｰの衝突による乱流が境界層の破壊、粉塵の剥離を助長
（4）（2）と（3）の２方向（超音波と乱流）の風向を持つ為、様々な付着状態の粉塵に効果を発揮
（5）噴出し部の均一なスリット加工により有効長に対し均一な噴出しが可能
（6）ユーティリティは電力のみ