製品情報

超純水帯電防止装置 

製品名 超純水帯電防止装置

概要

各種静電障害を防止します。
※ 各種静電 とは、 半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電気

特長

高純度Co2ガスを増すフロー・コントローラー及び特殊ノズルで注入する為、高い入り口圧で
 使用可能、二次汚染なし
・排気ガス・排水を出さない(直接注入式)
・任意の比抵抗値にあわせて、正確にコントロール可能
・消耗品は殆ど必要なし
・CO2消費量は、必要最低限