製品情報

XYZθαβステージ(6軸ステージ) TSC6-40, TSC6-60

製品名 XYZθαβステージ(6軸ステージ)
型式 TSC6-40, TSC6-60
メーカー ツクモ工学株式会社
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概要

6軸方向の微動調整が可能なステージです。
固定したサンプルの位置決めが精度良くできるため、光学用途以外(測定・分析用の治具など)にも有用です。

特長

XYZ軸での位置決めと、θ軸回転での360°方向とαβ軸角度による姿勢調整などの微動調整が可能です。
・αβ軸は同じ回転中心をもち、微細な傾斜姿勢の制御が可能です。
・写真では、下から、Y軸、X軸、Z軸、θ軸、α軸、β軸の順番に、調整機能を構成しています。
 θ軸を90°回転すると、α軸とβ軸が置き換わります。

主な仕様

型番

TSC6-40

TSC6-60

ステージ面(mm

40×40

60×60

移動量 X, Ymm

±6.5

±6.5

移動量 Z  (mm

±2.5

±5

回転角度 θ(°)粗動

        微動

360

±5

360

±5

回転角度 α(°)

±15

±10

回転角度 β(°)

±20

±15

αβの回転中心高(mm

35

84

耐荷重(N

19.6

49

自重(kg

0.9

3.02

税別価格

¥198,000

¥248,000

その他

【補足】
当社製品のそれぞれの軸の定め方は以下の通りです(方向は写真内での説明)。

Z軸方向:下から上の方向
X軸方向:左手前から右奥への方向(光軸に平行)
Y軸方向:右手前から左奥への方向(Z軸、X軸に垂直な方向)
・α軸   :X軸を中心とする回転自由度を表現(ローリング)
・β軸   :Y軸を中心とする回転自由度を表現(ピッチング)
・θ軸   :Z軸を中心とする回転自由度を表現(ヨーイング)