製品情報

全自動真空ラミネーター　TEAM-100ARF

製品名 全自動真空ラミネーター
型式 TEAM-100ARF

概要

TEAM-100ARFは保護フィルム・ドライレジストフィルムなど、様々なフィルムに対応した真空ラミネーターです。
ウエーハに対して内周に貼り付けが可能です。

特長

■真空状態でフィルムをウエーハを貼り付ける事により、段差に対しても気泡の無い貼付が可能。
■表面保護テープをはじめ、ドライレジストフィルム、樹脂フィルムなど多彩なフィルムに対応。
■ウエーハ径に対して内貼り（小径）も可能。
■テープテンションフリーでの貼付を実現。
■TAIKOウエーハを含む、薄研削済ウエハーへのテープ貼付も可能。

主な仕様

■ウエーハサイズ：4・5・6・8インチ対応。
■カバーフィルム剥離機構の追加も可能。

その他

　 ※セミオート機もラインナップ。
　 ※12インチ対応フルオート機もラインナップ。