製品情報

全自動紫外線照射装置　

製品名	全自動紫外線照射装置

概要

本装置は2段積みのカセットよりワークを取り出し、UV硬化型ダイシングテープへの紫外線照射を行います。
ワークを移動させながら紫外線照射を行う方式を採用する事により、テープ面へ均一に照射ができ、ダイシングテープの性能をフルに発揮する事ができます。

特長

・2段積みのカセットよりワークを取り出し、UV硬化型ダイシングテープへ紫外線照射
・ワークを移動させながら紫外線照射を行う方式を採用する事により、テープ面へ均一に照射

主な仕様

照射機：高圧水銀ランプ　3kw×１灯（80W／cm　発光長375mm）
対応サイズ：6・8インチウェーハ用リング
装置寸法：W 1400×D 1160×H 1560mm
重量：約800kg