製品情報

スパッタ　

製品名 スパッタ

概要

ウェーハに配線膜、バリヤ膜、裏面電極、ＵＢＭ膜等を形成します。

特長

・研究開発から試作・量産まで各種プロセスに対応可能
・ ユーザーの要求プロセスに合わせたシステム提案が可能。長距離スパッタ、バイアス、
　 恒温加熱、小径、カソードによる多元の成膜に対応。
・ スルーザウォールタイプ により、省スペース化
・ウェーハ(76.2 〜 203.2ｍｍ) 、 最大203.2ｍｍ対角のガラス や セラミック にも対応