製品情報

セミオートウエハーマウンター　SAM-8

製品名	セミオートウエハーマウンター
型式	SAM-8

概要

SAM-8はダイシングの前工程として、ダイシングテープへウエーハをマウントするセミオート装置です。

■ウエーハを真空下で貼り付ける為、気泡の混入が有りません。　また、低荷重での貼付方式の為、ウエーハにダメージを与えません。
■セミオートの為、ウエーハ・□形状のセラミック基板/パッケージ基板など、少量生産、研究開発用としてにフレキシブルに対応可能です。

■ウエーハサイズ：4・5・6・8インチ対応。
■ウエーハ厚みｔ150μm以下、反り5㎜以上にも対応【要相談】
■TAIKOウエーハ対応など、多彩なオプション対応。

※12インチ対応セミオート機もラインナップ。