製品情報

WET洗浄装置2　

製品名 WET洗浄装置2

概要

本装置はコンベア式にて搬送を行い洗浄処理をを行う装置です。
研究用装置から大型量産装置までカスタマイズ製作できます。

特長

・搬送部
0.2t以下のガラス基板や50μm以下の銅箔板など不安定な基板も対応しております。安定した
搬送、製品の蛇行、製品の傷を低減すべく、搬送部材にはコストと時間をかけて製作しており、
各種基板ごとに合う搬送をご提案いたします。

・水洗部
水洗は、上流に荒く、下流に細かく河の流れのようなイメージで水洗段数を分けて製作します。
洗浄には、各種工程のよる条件や、パーティクル・コンタミネーションの条件より、装置構成が
変わるため、条件により高圧洗浄、二流体洗浄、超音波洗浄などを活用しております。