製品情報
プロトススペーサー
| 製品名 | プロトススペーサー |
|---|
概要
本製品は、搬送時のシリコンウェーハを安全に保護するスペーサーです。
特長
・低パーティクル
・低イオンコンタミ
・静電気対策
・キズ対策
・裏表なし
・ウェーハ移載装置対応
主な仕様
表面抵抗値
ＰＥＡタイプ：1.0×10の12乗Ω以下
ＣＰＳタイプ：1.0×10の9乗Ω以下
材質
ＰＥＡタイプ：帯電防止ＰＥ
ＣＰＳタイプ：導電性ＰＥ
| 製品名 | プロトススペーサー |
|---|
本製品は、搬送時のシリコンウェーハを安全に保護するスペーサーです。
・低パーティクル
・低イオンコンタミ
・静電気対策
・キズ対策
・裏表なし
・ウェーハ移載装置対応
表面抵抗値
ＰＥＡタイプ：1.0×10の12乗Ω以下
ＣＰＳタイプ：1.0×10の9乗Ω以下
材質
ＰＥＡタイプ：帯電防止ＰＥ
ＣＰＳタイプ：導電性ＰＥ