製品情報

保護テープ剥離装置　

製品名	保護テープ剥離装置

概要

全自動でバックグラインド工程後の極薄ウェーハより表面保護テープを剥離します。
（省テープ剥離システム）

特長

・薄膜ウェーハに対し、安定したハンドリング（非接触）
・ウェーハにダメージを与えない剥離動作
・パーティクルによる歩留まり低下を防止
・剥離テープ省消費システムでランニングコスト軽減