製品情報

ウェーハ一括移載機 WTI−01型

製品名 ウェーハ一括移載機
型式 WTI−01型
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概要

半導体基板のカセットtoカセットの移載を、手動操作にて行う装置です。

特長

(1)搬送方法:手動搬送
(2)カセットステージ数 :2個
(3)接触箇所材質:SUS304(導電性テフロンコート)
(4)特殊機能:ハンド挿入時のポカ除け対策

主な仕様

(1)ワーク:半導体基板
(2)ワークサイズ:φ8インチ
(3)ワーク厚さ:725〜800μm
(4)装置寸法:W590×D780×H326(mm)
(5)装置重量:約40kg

その他

・導入事例:
  簡易的にウェハを移載したい
  カセット内ワークの擦れを抑えたい
・検討可能:
  カセットステージ数、自動化、ワークサイズ等