製品情報

ウェーハ一括移載機　ＷＴＩ−０１型

概要

半導体基板のカセットtoカセットの移載を、手動操作にて行う装置です。

（1）搬送方法：手動搬送
（2）カセットステージ数　：2個
（3）接触箇所材質：SUS304(導電性テフロンコート）
（4）特殊機能：ハンド挿入時のポカ除け対策

（1）ワーク:半導体基板
（2）ワークサイズ:φ8インチ
（3）ワーク厚さ:725〜800μm
（4）装置寸法:W590×D780×H326(mm)
（5）装置重量:約40kg

・導入事例：
　　簡易的にウェハを移載したい
　　カセット内ワークの擦れを抑えたい
・検討可能：
　　カセットステージ数、自動化、ワークサイズ等