製品情報

ウェーハ移載梱包装置　

製品名 ウェーハ移載梱包装置
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

ウェーハをキャリアから搬送専用の包装容器へ、移載する装置です。
専用梱包容器（プロトスキャリア）を使用しますので薄物ウェーハの工場間移動も安全です。ウェーハサイズの兼用も可能です。（オプション）ウェーハと専用スペーサ材を交互に重ねて移載します。
ウェーハのチッピングや割れの心配はありません。

特長

・専用梱包容器（プロトスキャリア）を使用しますので薄物ウェーハの工場間移動も安全です。
・ウェーハサイズの兼用も可能です。（オプション）
・ウェーハと専用スペーサ材を交互に重ねて移載します。ウェーハのチッピングや割れの心配はありません。
・逆移載（梱包〜ウェーハキャリア）も可能です。出荷工場と受け工場にセットで導入されると便利です。
・ウェーハID認識システムも塔載可能です。（オプション）