概要

光学系駆動機構を使用しない3D測定器です。
　　・高速計測（4000/秒）
　　・高精度
　　・最小スポットサイズ1.4um

特長

（1）一切光学系駆動機構なしで高速計測
　　→サンプリングレート　4,000サンプリング/sec
（2）高精度
（3）最小スポットサイズ　1.4um
　→位置分解能の高いスキャン計測、マッピング計測に対応
（4）最小広角度の計測範囲でプローブにより、最大±45°まで可能
　→光学プローブの組付け設置、交換が容易/ワーク表面の傾きにも追従
（5）3層までの多層計測機能を標準装備
（6）加工装置・検査装置での組込搭載が容易

その他

※測定例

＜ウェハー厚み＞

＜フィルムのインライン厚み＞

＜スマートホンのカバーLCD＞

＜レンズの中央部厚み及び樹脂厚み＞

＜マイクロレンズの形状＞