製品情報

非接触表面形状 粗さ・厚み測定器 

製品名 非接触表面形状 粗さ・厚み測定器

概要

光学系駆動機構を使用しない3D測定器です。
  ・高速計測(4000/秒)
  ・高精度
  ・最小スポットサイズ1.4um

特長

(1)一切光学系駆動機構なしで高速計測
  →サンプリングレート 4,000サンプリング/sec
(2)高精度
(3)最小スポットサイズ 1.4um
 →位置分解能の高いスキャン計測、マッピング計測に対応
(4)最小広角度の計測範囲でプローブにより、
最大±45°まで可能
 →光学プローブの組付け設置、交換が容易/ワーク表面の傾きにも追従
(5)3層までの多層計測機能を標準装備
(6)加工装置・検査装置での組込搭載が容易

その他

※測定例



<ウェハー厚み>


<フィルムのインライン厚み>


<スマートホンのカバーLCD>


<レンズの中央部厚み及び樹脂厚み>


<マイクロレンズの形状>