製品情報

非接触搬送ハンド　

製品名 非接触搬送ハンド

概要

本装置は、円筒室内の負圧によってウェーハを浮上させ、非接触でウェーハを保持し、高クリーンな搬送を行います。
薄くなったウェーハや、反り上がったウェーハを矯正し、安全・安心に搬送することができます。

特長

・非接触
円筒室内の負圧によってウェーハを浮上させ、円筒室から流出する流体等によって非接触（0.1mm〜0.2mmスキ間）にてウェーハを保持する事が可能
非接触の為、高クリーン搬送を実現し、パーティクルの付着を低減
従来品と違い吐出エアーによる帯電も解消
・低ストレス
独自の技術により、広範囲に負圧を発生させることが可能
→薄くなったウェーハや、15mm程度反り上がったウェーハを矯正し安全・安心に搬送可能
ウェーハ自体が受けるストレスを約1/360に低減　（真空吸着との比較）
・省エネ・薄型化
従来品の約1/7の消費流量で機能を発揮
ウェーハに対し平行に吐出するため、製品自体の厚みを薄くすることができ、ロボットのエンドエフェクターへの使用が可能

その他

【多彩なラインナップ-KUMADEシリーズ一覧】
・Fork（薄型タイプ）
　ロボットのエンドエフェクターに使用
　高さ方向にスペースが無い時に使用
・Circle（広面積保持タイプ）
　ステージ間搬送時などに使用
　極薄ウェーハ保持に使用
・Holder（マニュアルピンセットタイプ）
　技能者によるマニュアルハンドリング時に使用
・Cup（KUMADEベーシックタイプ）
　ウェーハ反り矯正に使用
　ソーラーセル、FPDパネルなど重量、形状問わずに使用可能
・Aligner（ウェーハアライナー）
　極薄ウェーハのノッチ、オリエンテーションフラットのアライメントに使用