製品情報
マウント装置（接着機）
| 製品名 | マウント装置（接着機） |
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概要
本装置はカセットより取り出したウェーハを自動かつ枚葉で、ＷＡＸを塗布してから加熱したプレートに貼付け、その後冷却プレスを行います。
特長
・省スペース-従来機当社比約５０％の削減を実現
・高スピード化-ウェーハ搬送にＷハンドロボットを採用し、スピードアップを実現
・ウェーハスピン用にレスポンスの良いサーボモーターを採用
・プレート洗浄機（オプション）とドッキングすることにより、パーティクルの影響を受けることなく、高精度接着が可能
・また、デマウント装置ともドッキングが可能で、ウェーハデマウント、プレート洗浄、ウェーハマウントの自動化が可能