製品情報

ペン型イオナイザー　MODEL：3080S

製品名 ペン型イオナイザー
型式 MODEL：3080S

概要

シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。

特長

・電圧駆動回路の異常を検知すると自動的に高電圧を遮断する安全回路を内蔵
・パルスエアー機能の搭載により除塵率の向上
・ペン本体は黒色で暗室の使用も可能

主な仕様

入力電圧：DC 24 V (AC 90−264 V 50 / 60 Hz 用アダプタ付属）
入力電流：0.5A MAX
使用周囲温度：10℃〜40℃
使用周囲湿度：35%RH-65%RH（結露なきこと）
付属品：ACアダプタ・電源コード
ペン部重量：130g
コントローラ部重量：750g
放電針：タングステン電極
気圧圧力範囲：0.05〜0.4MPa
流量：41リットル/min
入力気体：クリーンドライエアー又は窒素