製品情報
近赤外対応 テレセントリックレンズ MML NIRシリーズ
| 製品名 | 近赤外対応 テレセントリックレンズ |
|---|---|
| 型式 | MML NIRシリーズ |
| メーカー | 株式会社モリテックス |
| メーカーロゴ |  |
| メーカーサイト | メーカー製品サイトはこちら |
概要
使用波長域770nm〜1200nmをターゲットに専用設計した近赤外MML。
赤外対応のカメラ・照明と組み合わせることで、ウェハー内部の欠陥や裏面のパターンを観察できる特殊用途MMLです。
主な仕様
| 型式 | MML4-80D-IR | MML6-80D-IR | MML8-80D-IR |
| 同軸照明 | ○ | ○ | ○ |
| 倍率 | x4 | x6 | x8 |
| WD(mm) | 82.4 | 81.5 | 81 |
| 分解能 | 4μm | ||
| 被写界深度 | 50μm | 33μm | 27μm |
| NA | 0.15 | ||
| 有効Fno | 13.3 | 20.1 | 26.9 |
| TVディストーション | 0.01 | ||
| 最大適合CCD | 2/3" | ||
| 質量 | 90g | 100g | 110g |
| マウント | C | ||