製品情報

洗浄

洗浄は7件あります。

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機 

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機

ウェーハの裏面をブラシで洗浄し、リンス〜スピン乾燥する手動洗浄機です。ウェーハをチャック治具にセットした後、洗浄ブラシがウェーハ裏面を洗浄し、リンス後、乾燥処理...

オートマチックウェーハスクラバー AWS-200

ダイトロン株式会社

オートマチックウェーハスクラバー

WJS−150の洗浄機構に搬送ロボットを加えた自動ウェーハ洗浄機です。 ローダーカセットに収納されたウェーハを下段より一枚づつ搬送用ロボットにて取り出し、ウェー...

ウェーハジェットスクラバー WJS-150B/200B/300B

ダイトロン株式会社

ウェーハジェットスクラバー

・純水のみで高速洗浄します。

高照度エキシマランプ 

高照度エキシマランプ

172μmの高い光エネルギー(真空紫外光)で改質し、親水性・接着性・濡れ性を向上します。

自動洗浄装置・各種ドラフト 

自動洗浄装置・各種ドラフト

基板の洗浄を純水や洗剤を使用して行います。

RCA洗浄装置 

RCA洗浄装置

酸やアルカリでの洗浄や、剥離液でのレジスト剥離します。

自動搬送付き洗浄機 

自動搬送付き洗浄機

・GaAs,GaP,サファイア等のLEDウェーハをプロセス上、洗浄又はエッチングを自動搬送にてを行う装置です。・各種手動又は半自動の装置も取り扱いがございます。

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