製品情報

成膜・ドライ

成膜・ドライは5件あります。

パルスプラズマCVD装置 

神港精機株式会社

パルスプラズマCVD装置

ドライコーティングで撥水(はっすい)性・親水性を創る装置です。

エッチング装置 

エッチング装置

Si、Alなどの膜をエッチングします 。

スパッタ 

スパッタ

ウェーハに配線膜、バリヤ膜、裏面電極、UBM膜等を形成します。

蒸着機 

蒸着機

半導体ウェーハや各種基板に各種薄膜を形成します。

アッシング装置(レジスト残渣) 

アッシング装置(レジスト残渣)

【プラズマエッチング装置】 ハードモード・ソフトモードの切り換えで、異方性エッチング及び等方性エッチング(※)を実現します。 広域ターボポンプを使用している為、...

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