製品情報

成膜・ドライ

成膜・ドライは2件あります。

R to R スパッタリング装置 

R to R スパッタリング装置

本装置は、FPC等先端フィルムデバイスで実績の樹脂フィルム、金属箔への薄膜作製装置です。ITO他の透明電導膜をR to R(巻取り)方式により量産します。マルチ...

アッシング装置(レジスト残渣) 

アッシング装置(レジスト残渣)

【プラズマエッチング装置】 ハードモード・ソフトモードの切り換えで、異方性エッチング及び等方性エッチング(※)を実現します。 広域ターボポンプを使用している為、...

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