概要

・ ガラス、ＩＴＯ及びカラーフィルター越しのパターン修正として使用します。
・ １０６４／５３２ｎｍの波長にて加工し、 専用アパーチャーにてスポット形状を５μｍ□〜対応し、微小欠陥修正が可能です。
・インライン自動機からマニュアル機まで ラインナップされています。