製品情報
大口径高精細産業用変倍レンズ Rayfact 2-5倍 変倍 L-OVM50167MN

製品名 | 大口径高精細産業用変倍レンズ Rayfact 2-5倍 変倍 |
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型式 | L-OVM50167MN |
メーカー | 株式会社ニコン |
メーカーロゴ | ![]() |
メーカーサイト | メーカー製品サイトはこちら |
資料 |
概要
- 画素数の多いラインセンサーカメラによる検査
- フラットパネルディスプレイ基板の微細パターン検査
- プリント基板などの微細パターン検査
- 半導体ウェハなどの微細パターン検査
特長
- 1本のレンズで-1倍~-2倍までフローティング可能(Rayfact 1-2倍)
- 1本のレンズで-2倍~-5倍までフローティング可能(Rayfact 2-5倍)
- 物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプも準備(同軸落射:厚み25mm)(Rayfact 1-2倍、Rayfact 2-5倍)
- 同軸落射用プリズムユニット(厚み:25mm)取り扱いあり
- イメージサークルΦ86.4mm、高解像大型ラインセンサーカメラ対応
大型ラインセンサー:3.5µm x 23K / 5µm x 16K 対応(Rayfact 1-2倍)
大型ラインセンサー:5µm x 16K / 5.2µm x 12K 対応(Rayfact 2-5倍) - 使用倍率範囲内での性能差が少なく、倍率全域において性能を確保
- 絞りロックねじ、フローティングリングのロックねじを装備
- 絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるように、絞りリング・フローティングリングにギアを搭載