製品情報

ラインセンサー用高性能レンズ Rayfact VW 0.14倍 / 0.25倍 / 0.35倍 L-OFM014012MN/L-OFM025020MN/L-OFM035026MN

製品名 ラインセンサー用高性能レンズ Rayfact VW 0.14倍 / 0.25倍 / 0.35倍
型式 L-OFM014012MN/L-OFM025020MN/L-OFM035026MN
メーカー 株式会社ニコン
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資料

概要

  • 画素数の多いラインセンサーカメラによる検査
  • フラットパネルディスプレイ基板の微細パターン検査
  • プリント基板などの微細パターン検査
  • 半導体ウエハなどの微細パターン検査
  • 印刷物の検査

特長

  • 高解像大型ラインセンサーカメラ対応
  • 7µm x 8K / 5µm x 12Kラインセンサーカメラに適した光学設計
  • 中心から周辺部まで高性能、均一性を確保
  • 絞り開放で最高の性能を発揮する光学系
  • イメージサークルΦ64mmにて高い周辺照度比を実現(5.2倍・7倍)
  • 両側テレセントリック光学系(5.2倍・7倍)