概要

本製品は、世界初のHYBRID光学系マイクロスコープです。
二つの光学系の採用で、用途がさらに拡大。
本製品は、レーザーマイクロスコープ、カラーコンフォーカル、反射分光、膜厚測定、AFM、光干渉、
形状測定、などの機能を1台でカバーします。

レーザーマイクロスコープの持つ高倍率・高分解能・高精度3D測定機能と、カラーコンフォーカル
が持つ広視野かつリアルカラーで、豊富なアプリケーションを併せ持った、ハイブリッドレーザー
マイクロスコープです。

特長

高分解能
405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化

広視野観察
一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上

ナノオーダー測定
光干渉測定、反射分光膜厚測定、AFMによるナノレベル構造の測定（AFMはオプション）

波長選択
6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現

高精細カラー観察
カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー画像の取得

主な仕様

その他

【用途】各種材料の観察及び形状測定：
半導体材料＆デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、無機・有機材料、
バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など