製品情報
高照度エキシマランプ
| 製品名 | 高照度エキシマランプ |
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概要
172μmの高い光エネルギー（真空紫外光）で改質し、親水性・接着性・濡れ性を向上します。
特長
＜製品特徴＞
（1）高照度・分布の良いRF放電方式
（2）照射面側に電極が存在せず光の遮りがない。
合成石英光取出窓も不要(有･無選択可)
（3）ランプごとに照度調整が可能
（4）真空専用ランプユニットにより、真空中でランプ点灯が可能
（5）メンテナンス性に優れ、省スペース･低コスト
（6）カスタム設計対応
（7）独自の窒素噴出ホルダ構造により、窒素量の大幅削減（スリッドホルダー構造）
＜エキシマランプの特長＞
（1）高い光エネルギー
（2）単一波長、低温照射、大面積処理
（3）瞬時点灯、消灯が可能
（4）光改質効果の為、ダメージが少ない
（5）水銀を使用せず環境にやさしい
その他
＜主な用途＞
・FPD基板の洗浄
・ウエハの洗浄・硬化
・レジスト及び残渣のアッシング
・フィルム・プラスチック洗浄・改質
・金属表面の洗浄・改質
・HD洗浄・潤滑油硬化
・Low-kキュア
・酸化膜の生成
・繊維の改質
・有機ELの仕事関数アップ
・ガラス･フィルムの張り合わせ