製品情報

全自動保護テープ貼り付け装置　

製品名 全自動保護テープ貼り付け装置

概要

本装置は、特殊テンション機構により、B/Gテープをウェーハに最適な状態で貼り付ける全自動装置です。本機は、ウェーハの裏面研磨工程として必要な表面保護テープのラミネートを全自動で行う装置です。ウェーハ搬送は高性能ロボットを使用し、キャリアステーション（Ⅰ）から キャリアステーション（Ⅱ）へ、又キャリアステーション（Ⅰ）からキャリアステーション（Ⅰ）へのカセットｔｏカセットが自由に選択できます。

特長

・ウェーハ搬送は高性能ロボットを使用し、キャリアステーション（Ⅰ）から キャリアステーション（Ⅱ）へ、又キャリアステーション（Ⅰ）からキャリアステーション（Ⅰ）へのカセットｔｏカセットが自由に選択できます。

主な仕様

スループット：90枚/時
ウェーハサイズ：φ4・5・6・8インチ
装置寸法：980ｍｍ×1600ｍｍ×1200ｍｍ
　　　　　　（シグナルタワー含まず）