製品情報

膜厚測定装置　

製品名	膜厚測定装置

概要

・サンプルサイズ 880 × 680mm までの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。
・サンプルのロード / アンロードできるオプションも用意されています。

主な仕様

・最大サンプル大型
・再現性 1 σ　 1nm
・測定範囲 Z100 μ m ,X100mm
・分解能 Z0.1nm,X0.1 μ m
・測定力 0.5 μ N 〜 500 μ N
・触針 R2 μ m
・解析項目微細形状、段差、粗さ、うねり

その他

各種取扱がございます。詳細につきましてはお問合せ下さい。