製品情報

成膜装置　

製品名 成膜装置

概要

フラットパネルディスプレイの製造プロセスで多くの実績を持つ、大型基板対応の薄膜形成および薄膜加工装置です。
大型基板を枚葉処理し、高品質なプロセス処理と、安定した稼動をご提供する本格量産システムです。

特長

【薄膜形成】
　透明導電膜・電極膜・保護膜および特殊機能膜の形成
　　・スパッタリング装置
　　・ＰＥＣＶＤ装置
　　・ＭＯＣＶＤ装置

【薄膜加工】
　サブミクロンルールのエッチング・アッシング・表面処理等のプラズマ処理
　　・プラズマエッチング装置
　　・プラズマアッシング装置

※インライン式量産システムのご提案も致します。