概要

無地/パターン付きフィルムの欠陥（ゴミ・異物・傷・クラック・気泡・失透・汚れ・パターン欠陥）をリアルタイムで連続検査するシステムを供給します。

主な仕様

＜フォール・フィルム対応テスト機＞
・フィルム幅　：　800mmまで
・送り速度　　：　10〜100ｍ/分
・分解能　　　：　3μm〜100μm

＜オフライン機＞

その他

＜検査例＞

フィルム状のピンホール/剥離/焼けなどの検査　　フィルム上のCuパターンの異物/オープン/ショートなどの検査
フィルム上のパーティクル/カレットなどの検査　　　フィルム上のAgパターンの異物/オープン/ショートなどの検査