概要

MO-CVDから排出されるガスを安定的に除去する装置です。
H2及びNH3 ガスの高効率的に除去(排水場でのT-N濃度低下及び悪臭問題解決）出来ます。
NH3ヒーター式で水を使わない環境に優しい装置です。