製品情報

デマウント装置（剥離機）　

製品名	デマウント装置（剥離機）

概要

・プレート上に接着されたウェーハをポリッシュ後、剥ぎ取ったウェーハをカセットに収納する為に開発された装置です。
・プレートをテーブル上にセットし、ウェーハをナイフ等で剥ぎ取りますとウェーハはシューターを滑り落ちて自動的にカセットに収納されます。

特長

・水流にてウェーハを運ぶので、ウェーハとシューターの間に水の被膜ができ、ウェーハを保護
・ウェーハをカセットに挿入する部分は水中にあるため、水の被膜によりウェーハとカセットの接触によるスリ傷発生を防止