製品情報

人型協働ロボット

ウェーハ検査ロボット

ウェーハ検査からオペレーターを解放！
手動型ウェーハ測定機×人型協働ロボットの活用提案

人型協働ロボットでのウェーハ交換作業動画を下記からご覧いただけます

※ウェーハ検査ロボットはTHKインテックス(株)「ロボット関連事業」との共同企画事業です。

人型協働ロボット×手動型ウェーハ測定機のコラボレーション

人型協働ロボット　NEXTAGE

フラットネステスター FT-17

上記数値は実測値となり、実測時条件は下記となります。
１．ウェーハ48枚（Φ"4 ; 2キャリア）分
２．ウェーハ連続交換モード運転（測定なし）
３．測定必要時間(ウェーハ@6sec 設定)込み
４．ソリ測定(BOWチャック)対応モード

48カセット分の自動測定が可能（ウェーハ：1,200枚）

※60sec / 1ウェーハ＋αで計算

ウェーハ・ロード/アンロードシステム

FT-17×2台で測定を専用化し運用

※84.8min 48枚/2キャリア(実測値から想定)

AMR(自律走行搬送ロボット)タイプで装置間を移動し運用

(株)ガードナー製　NEXTAGE専用クリーンスーツ（発塵データあり）

24時間無人稼動 (検査員の負荷軽減) (要員不足解消)	ウェーハ測定→ウェーハ交換　繰り返し単純作業をロボットで実現 ※検査員の単純作業を人型協働ロボットが代行 ※オプションを含め24h連続稼働を想定
既存の手動測定機をほぼ自動機に	既存機は基本的に改造不要 ※I/Oについてもロボット側が対応します ※ロボット専用ユニットは別途必要となります
ウェーハ増産計画に貢献	キャリアストッカー/AMRなど豊富なオプションを用意 ※人型協働ロボットをベースに24h連続稼働環境を提供します ※新規手動機も含めた増設需要にも対応可能です
お財布と人に優しく (投資/労務コストの低減)	規格ロボット＋αで作業用アプリケーションをトータルで提供 ※全自動装置のような高コストが発生せず、納期も短くなります ※新たに確保が必要な床スペースはほぼロボット部分のみとなります
ロボットは他用途に転用可能	新たな作業用のアプリケーションにも転用可能ですので、長期間に渡り投資効果が期待できます

【NEXTAGEが対応困難な作業】
　a : ソリ/平坦度測定切り替え時のステージ交換とロボットのモード切替
　b : 測定ウェーハ厚みの変更やバラツキに伴う「縞感度校正」
　c : ウェーハ/キャリアサイズ切替時のステージ交換とロボットのモード切替

注：当ページで紹介している内容は、コンセプトを示すものであり、実際の製品化の仕様・性能などと内容が異なる場合がございます。

※上記NEXTAGEの左右腕部の画像はカスタマイズ前のノーマル状態です。

※マーカー認識による以下の確認と補正作業
　①検査機位置
　②自己位置の推定
　③スイッチ／ハンドル位置など

	L1:ロボット左アーム
L1:左アーム近接カメラ	L1-1:ウェーハのオリフラ/重心位置の確認	L1-2:画像処理画面
L2:グリップ・ハンド	L2-1:ステージドアをグリップして開閉	L2-2:ウェーハをエッジグリップ・吸着ハンドからウェーハ持ち替え・検査ステージにウェーハを設置＆取り出し