製品情報

バンプウェーハ・化合物ウェーハ搬送ケース 

製品名 バンプウェーハ・化合物ウェーハ搬送ケース

概要

本製品は、最大25枚収納可能なウェーハ搬送ケースです。

特長

・BWPS(バンプウェーハ搬送システム)
 バンプ、CCDウェーハを真空成形トレイで保持する事により、パターン面に触れずにコンパクトに最大25枚収納
・GWPS(化合物ウェーハ搬送システム)
 割れやすい化合物ウェーハを真空成形トレイとプロトススペーサーを使用する事により、最大25枚収納する事ができます。

主な仕様

材質:PP