製品情報
バンプウェーハ・化合物ウェーハ搬送ケース
製品名 | バンプウェーハ・化合物ウェーハ搬送ケース |
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概要
本製品は、最大25枚収納可能なウェーハ搬送ケースです。
特長
・BWPS(バンプウェーハ搬送システム)
バンプ、CCDウェーハを真空成形トレイで保持する事により、パターン面に触れずにコンパクトに最大25枚収納
・GWPS(化合物ウェーハ搬送システム)
割れやすい化合物ウェーハを真空成形トレイとプロトススペーサーを使用する事により、最大25枚収納する事ができます。
主な仕様
材質:PP