概要

1nmを超える高分解能の世界 -光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール-

レーザスケールは、1nmを超える高分解能の計測及び制御を容易に実現します。基準となるスケールは、ホログラム方式により達成される微細な格子と、外乱に対して安定で取付けやすさを実現した検出ヘッドにより、信号波長が138nmの高S/Nの信号を得ることができます(BSシリーズ)。さらに、自動補正機能をもつインターポレータを使用することで、17pm(17×10^-6μm)までの超高分解能を得ることができ、ナノメートルからピコメートルを容易に得ることができます。

最高分解能17pm(Pico Meter)

ホログラム格子が1ピッチ動くと、干渉信号が4回反転し0.55μmの格子ピッチの1/4=約0.14μmの干渉信号が得られます。電気的に8,000分割することにより、最小17pmの超高分解能が得られます。超高分解能と高速応答が可能格子干渉方式リニアエンコーダは従来のリニアエンコーダ(信号波長20μm)の約1/100の信号波長約0.14μmの干渉信号が得られます。また、弊社独自開発のインターポレータにより17pmの超高分解能で最大応答速度400mm/sの高速応答(バイナリ出力)が可能です。

特長

BS78 Laserscale高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。

その他

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  株式会社マグネスケール　沿革

  1965	磁気式計測技術を発表
  1969	磁気式計測器、マグネスケールの開発・設計・製造・販売を目的とし、ソニーマグネスケール株式会社を設立
  1971	マグネスケール GPシリーズ販売開始
  1978	カウンタ LMシリーズ販売開始
  1981	伊勢原事業所設立
  1988	レーザスケール BS10シリーズ販売開始
  1996	ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社に社名変更
  2002	レーザスケール BL55シリーズ販売開始 高精度磁性記録技術発表
  2003	高精度マグネスケール SR33販売開始
  2004	ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社に社名変更
  2005	マグネスケール SJ300シリーズ、高精度デジタルゲージ DK800シリーズ、ネットワークカウンタシステム MGシリーズ販売開始
  2007	高精度アブソリュートマグネスケールSR70シリーズ販売開始
  2008	マグネスケール GB-ERシリーズ、カウンタ LH70シリーズ販売開始 高剛性高精度アブソリュートマグネスケールSR80シリーズ、RU70シリーズ販売開始
  2010	株式会社マグネスケール設立