製品情報

外観検査装置　

製品名 外観検査装置

概要

画像処理外観検査装置の新しいシステムで、検査対象となる製品の超高精細・大画面の画像を
高速に取得・蓄積し、その画像に含まれる各種の特徴を検知してその中から「望ましくない特徴」
を抽出、製品の良否を判定する機能を備えています。
薄膜太陽電池Ｇ８量産ラインに導入実績がございます。

特長

・様々なライン構成・製造工程に柔軟に対応可能

・新素子や新技術の開発段階から利用可能
　 既にＦＰＤラインで幅広く利用されています
　 結晶Ｓｉ・薄膜Ｓｉ・薄膜化合物・色素増感・有機などの開発段階から役立ちます

・世界で唯一の画像処理型外観検査装置
　 巨大画像の中から、任意の場所を自由に選択し、観察可能
　 ファジー回路を用いた高速フィルタリング処理
　 基板サイズ／欠陥サイズに応じた台数のラインセンサーカメラでワーク全域の画像を保存

・幅広い検査・観察に同一方式で対応可能
　 ＴＣＯ膜検査
　 Ｓｉ膜検査
　 レーザースクライブ後検査
　 メカニカルスクライブ後検査