製品情報

卓上3D形状計測装置 3D-Eyeスキャナー

3軸ワイド仕様
製品名 卓上3D形状計測装置
型式 3D-Eyeスキャナー
メーカー ミツテック株式会社
メーカーロゴ

概要

デスクトップで簡単に使える3次元形状計測装置をカスタマイズで構築。

特長

■ライン状レーザスキャンによる簡単・高速計測

ライン状レーザで一括スキャンし、 三角測量を用いてワークとの実際の距離を測りながら形状を取得します。

3D-Eyeスキャナーでは1秒間に460万ポイント(移動時間含む)の計測が可能ですが、他社変位計方式では5,000ポイント(100μs平均化処理無し取込み、100μs移動にて)の取込みしかできません。

3D-Eyeスキャナーでは例えば約15mm幅x30mm長さのワークを10μmピッチで測定する場合、わずか1秒で計測できます。他社変位計方式では1,500pt3,000Line÷5,000pt900秒かかることになります。



■高精度な3軸ワイド仕様を新たにラインアップ
従来の1軸(X)仕様、2軸(X・Y)仕様に加えて、Z軸の自動スキャンを実現した3軸(X・Y・Z)仕様を新たにラインアップ。
Z軸を可動させることで、従来機の70倍となる35mm(※)の段差を測定可能。
高さ分解能は最大0.42μm(※)で、数μmレベルでの高さ判別が可能となります。
                                             (※)高分解能タイプの場合



主な仕様

<分解能>

広視野タイプ 標準タイプ 高分解能タイプ
測定視野(スキャン幅) 29mm 14.5mm 7.3mm
推奨測定段差 2mm 1mm 0.5mm
最大測定可能段差 10mm 5mm 2.5mm
Z軸ストローク(フォーカス) 1軸/2軸/2軸ワイド仕様:手動50mm
3軸ワイド仕様:電動35mm(高分解能タイプ)
ワークディスタンス 17.8mm 16mm 35mm
測定分解能 X軸:19μm
Y軸:20μm
Z軸:1.68μm
X軸:9.5μm
Y軸:10μm
Z軸:0.84μm
X軸:4μm
Y軸:4.75μm
Z軸:0.42μm

<測定範囲>

1軸仕様 2軸仕様 2軸ワイド仕様 3軸ワイド仕様
測定範囲(X×Y) 広視野:75×29mm
標準:75×14.5mm
高分解能:75×7.3mm
広視野:75×74mm
標準:75×60mm
高分解能:75×52mm
広視野:125×119mm
標準:125×105mm
高分解能:125×97mm
装置寸法
(W×D×H、ケーブル除く)
320×250×375mm 320×255×405mm 400×350×405mm

PC・モニター

OS:Windows7 Professional,グラフィックボードDirectX対応