概要

デスクトップで簡単に使える3次元形状計測装置をカスタマイズで構築。

特長

■ライン状レーザスキャンによる簡単・高速計測

ライン状レーザで一括スキャンし、 三角測量を用いてワークとの実際の距離を測りながら形状を取得します。

3D-Eyeスキャナーでは1秒間に460万ポイント（移動時間含む）の計測が可能ですが、他社変位計方式では5,000ポイント（100μs平均化処理無し取込み、100μs移動にて）の取込みしかできません。

3D-Eyeスキャナーでは例えば約15ｍｍ幅ｘ30ｍｍ長さのワークを10μｍピッチで測定する場合、わずか1秒で計測できます。他社変位計方式では1,500ptｘ3,000Line÷5,000pt＝900秒かかることになります。

■高精度な3軸ワイド仕様を新たにラインアップ
従来の1軸(X)仕様、2軸(X・Y)仕様に加えて、Z軸の自動スキャンを実現した3軸(X・Y・Z)仕様を新たにラインアップ。
Z軸を可動させることで、従来機の70倍となる35mm(※)の段差を測定可能。
高さ分解能は最大0.42μm(※)で、数μmレベルでの高さ判別が可能となります。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（※)高分解能タイプの場合

主な仕様

＜分解能＞

＜測定範囲＞