製品情報
ウェーハデマウンター
ウェーハ薄板化工程にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。
概要と特徴
ウェーハ薄板化工程（バックグラインド、ポリッシュ）にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。
WAXによって貼付けられたウェーハを2種類の方式により指示基板から剥離します。
ウェーハ薄板化工程にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。
ウェーハ薄板化工程（バックグラインド、ポリッシュ）にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。
WAXによって貼付けられたウェーハを2種類の方式により指示基板から剥離します。