製品情報

ウェーハデマウンター

概要と特徴

ウェーハ薄板化工程(バックグラインド、ポリッシュ)にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。

製品ラインナップ