半導体製造装置

洗浄機

手軽でコンパクトな純水系洗浄装置のシリーズの紹介です。ウェーハ用のスピン 洗浄から治具洗浄まで各種ラインアップの紹介です。

ウェーハマウンター

ウェーハ薄板化工程において、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。

ウェーハデマウンター

ウェーハ薄板化工程にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。

ウェーハ面取機

シリコン等のウェーハの面取り工程において、世界で初めてＮＣ制御研削を実現 させた「エッジ・グラインダー」シリーズの紹介です。

外観検査装置

半導体素子や透明材料の寸法測定や傷、汚れ検査を高解像度撮像、高機能画像処理によって行う装置の紹介です。

リフトオフ装置

半導体製造工程における、ウェーハのレジスト剥離工程の装置のご紹介です。

ウェーハ加工機

ウェーハをバー化、もしくはチップ化する工程の設備のご紹介です。

チップソータ

ＬＳＩベアチップの分類・管理用のウェーハ・チップソーター「ＷＣＳシリー ズ」の紹介です。

ソーター

テスターにて特性評価したチップの選別を高速高精度に行うソーティング装置の紹介です。

半導体テスター

さまざまなな半導体デバイスの特性評価試験を行う装置のご紹介です。

半導体エージング装置

さまざまなな半導体デバイスのバーンイン、および信頼性評価試験を行う装置のご紹介です。