ウェーハデマウンター

ウェーハ薄板化工程にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。

概要と特徴

ウェーハ薄板化工程（バックグラインド、ポリッシュ）にて、薄板化後のウェーハを支持基板からダメージレスで剥離させる装置のご紹介です。
WAXによって貼付けられたウェーハを2種類の方式により指示基板から剥離します。

製品ラインナップ

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  ウエハーデマウンター　DDMT-200-E

  ダイトロン株式会社