手軽でコンパクトな純水系洗浄装置のシリーズの紹介です。ウェーハ用のスピン 洗浄から治具洗浄まで各種ラインアップの紹介です。
小径ウエハー両面スクラブ洗浄機 DSC-100CV、DSC-200CV
ダイトロン株式会社
ウェーハジェットスクラバー WJS-150B/200B/300B
