ウェーハマウンター
ウェーハ薄板化工程において、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。
概要と特徴
ウェーハ薄板化工程（バックグラインド、ポリッシュ）にて、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。
WAXが塗布されたウェーハを支持基板に貼り合わせ、2種類のスタンプ(エア、セラミック)を用い、真空貼付けで精度確保が可能な装置です。
SCROL
ウェーハ薄板化工程において、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。
ウェーハ薄板化工程（バックグラインド、ポリッシュ）にて、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。
WAXが塗布されたウェーハを支持基板に貼り合わせ、2種類のスタンプ(エア、セラミック)を用い、真空貼付けで精度確保が可能な装置です。
