概要

【薄ウエハーの薄板化および工程流動をサポートする待望のウエハーマウンター】

本装置は、WAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを行います。

【対応デバイス】

素材：GaAs、InP、サファイア、Si

ウエハサイズ：2.5,3,4,6,8インチ

特長

• 真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を回避します。
• 貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正します。
• 試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プロセスをサポートします。

主な仕様